Defnyddio technoleg dyddodiad plasma arc cathodig. Mae dyddodiad plasma arc cathodig yn dechnoleg dyddodiad ffilm tenau gymharol newydd sy'n debyg mewn sawl ffordd i blatio ïon. Ei fanteision: cyfradd ïoneiddiad uchel yn y llif gronynnau a allyrrir, ac mae gan yr ïonau ïoneiddiedig hyn egni cinetig uchel (40-100eV).

Mae llawer o fanteision dyddodiad trawst ïon, megis adlyniad gwell, dwysedd cynyddol o wladwriaethau, ac adweithedd uchel i ffurfio ffilm cyfansawdd, i gyd yn cael eu hadlewyrchu mewn dyddodiad plasma arc cathodig. Mae gan ddyddodiad plasma arc cathodig ei fanteision unigryw ei hun, megis gallu adneuo ar swbstradau siâp mwy cymhleth, gyda chyfradd dyddodiad uchel, unffurfiaeth cotio da, tymheredd swbstrad isel, a pharatoi cyfansoddion neu aloion yn hawdd gyda chymarebau cemegol delfrydol. .

Mae'r deunydd catod yn cael ei anweddu gan y broses anweddu oherwydd dwysedd cerrynt uchel, ac mae'r anweddiad canlyniadol yn cynnwys electronau, ïonau, atomau cam nwy canolog a gronynnau. Ar y pwynt arc catod, mae'r deunydd yn cael ei ïoneiddio bron ar unwaith. Mae'r ïonau'n cael eu hallyrru i gyfeiriad bron yn berpendicwlar i'r wyneb catod. Pan fydd yr ïonau cromiwm ynni uchel yn taro'r nitrogen, byddant yn cael adwaith cemegol ar unwaith ac yn dod yn nwyol. Moleciwlau cromiwm nitrid.



